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真空烧结炉的应用与功能

    真空烧结炉正常工作时突然出现现停电故障,应立即打开电源控制柜确认是外部停电故障,还是设备内部电源故障。如果是外部停电故障应立即关闭总电源开关,并取下进口和出口传送带上的硅片。真空压力烧结炉正常工作时突然无冷却水,设备会自动停止运转,同时警报被触发。此时应取下进口和出口传送带上的硅片,在设备PC上下载冷却工艺。清洁完传送带后设备无法开启可以真空压力烧结炉进口和出口处的紧急停止开关被按下,拔出紧急停止开关即可解除机械锁定。

    另外真空烧结炉在平时的使用中要做好检查的工作,以免在使用时不能正常地使用。

    真空烧结炉是在抽真空后充氢气保护状态下,利用中频感应加热的原理,使处于线圈内的钨坩埚产生高温,通过热辐射传导到工作上,适用于科研、**单位对难熔合金如钨、钼及其合金的粉末成型烧结。

主要功能

    在抽真空后充入氢气保护气体,控制炉内压力和气氛的烧结状态。可用光导纤维红外辐射温度计和铠装热电偶连续测温(0~2500℃),并通过智能控温仪(如图1)与设定程序相比较后,选择执行状态反馈给中频电源,自动控制温度的高低及保温程序。