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锂电池正负极 烧结炉CVD回转管式炉

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产品名称: 锂电池正负极 烧结炉CVD回转管式炉
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简单介绍

为了使化学反应能在较低的温度下进行,利用了等离子的活性来促进反应,因而这处CVD称为等离子体增强化学气相沉积法。可根据客户需求设计尺寸,能满足超大型工件化学气相沉积处理需求,采用先进的控制技术,能精密控制MTS的流量和压力,炉膛内沉积气流稳定,压力波动范围小,持殊结构沉积室,密封效果好,抗污能力强,多通道沉积气路,流畅均匀,无沉积死角,沉积效果好,对沉积产生的高腐蚀性尾气,易燃易爆气体,固体粉尘及低熔点粘性物能进行有效处理。


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